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一、前言

多晶硅，是單質硅的一種形態，熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅。多晶硅是生產單晶硅的直接原料，是當代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉換等半導體器件的電子信息基礎材料。為檢測多晶硅中的無機元素含量，選擇微波消解對其進行前處理，探索最適合的消解參數，該方法還有回收率高、空白低等特點，有利于后續對多種無機元素的快速準確測定。

二、儀器與試劑

2.1、儀器

新儀MASTER-18微波消解儀，趕酸器，分析天平(十萬分之一)等。

2.2、試劑

硝酸(68%)，氫氟酸（40%）

三、實驗方法

3.1、消解

稱取粉碎后的多晶硅樣品約0.2g（精確至0.1mg）置于消解罐底部，加入5mL硝酸和5mL氫氟酸，靜置15min左右，組裝消解罐，按照如下設置參數進行實驗：

3.2、趕酸稀釋

實驗結束后，待冷卻至60℃以下，取出消解罐轉移至通風櫥中緩慢打開，放置在趕酸器上160℃趕酸至0.5mL左右，轉移至塑料杯中加水稀釋，消解液澄清透明，樣品可完全溶解。

四、結果與討論

實驗選擇的多晶硅樣品，取樣量為0.2g，采用硝酸+氫氟酸的混酸體系進行消解實驗，最高實驗溫度200℃，保溫30min左右，即可完全溶解。

五、注意事項

實驗中添加了大量氫氟酸，后續需要進行趕酸處理，將氫氟酸除盡后再上機進行檢測，防止腐蝕玻璃器皿和對結果造成影響。